SMART-GEM | SEMI規格準拠　半導体組立装置開発支援パッケージ

G300 （オプション）について

又、より高度なGEM機能を実現するために、いわゆるGEM300を実現するためのオプションとして、G300モジュールも準備しております。

GEMについて

「半導体（LSI）や液晶パネルを作るには、非常に多くのプロセスを必要とします。
それらのプロセスは、個別の製造装置で行っていきますが、その製造装置は非常に高価なものであり、有効に使う為に稼働率を向上させたいという要望があります。
又、製造ライン全体を有効に活用するという点からは、その状況を正確に把握したいという要望があります。

これら２つの要望を満たす為に、製造ライン全体を管理するホストコンピュータと製造装置をネットワークで結びます。
この事で、ホスト⇔製造装置間の情報共有と、ホストよりの生産指示、装置からの状況報告を行う事が可能になります。

ところが、仮に、製造装置メーカが独自に通信規格を設定したとすると、ホスト側がすべての製造装置と通信を行う為には、その装置固有の通信ソフトウェアが必要となります。
半導体装置メーカは、ホストコンピュータ側のソフトウェア開発に、非常に高いコストを支払う必要が生じてきます。
又、製造装置メーカ側からしても、独自の通信規格を制定する、独自の通信プログラムを作成するというコストが生じます。

これらの問題は、通信規格を統一する事で、解消する事が出来ます。
半導体、液晶パネルの業界団体SEMIで纏め上げた、その統一通信規格が、Gem（製造装置の通信およびコントロールのための統括的モデル）です。」

表1.対応済みGEM機能一覧

表2.対応済みGEM300機能一覧