Function1
低コストなGEM対応支援
SEMIで規定されているGEMの仕様は、非常に複雑かつ多岐にわたり、知識や情報がない状態からGEM設計開発を行うと、非常に高い開発コストとリスク、さらにはGEM仕様改変に伴うメンテナンスコストが発生します。
【SMART-GEM】を採用頂くことにより、コストとリスクの低減化を容易に実現することが出来ます。
Function2
迅速なGEM機能の市場への投入
近年、半導体業界の技術革新はより一層加速化し、装置ベンダ間の競争はますます激しくなっております。【SMART-GEM】は完成された汎用ミドルウェアのため、【SMART-GEM】により、他社に先駆けてGEM機能の迅速な市場投入が可能となります。また、 【SMART-GEM】は、SEMIスタンダードの最新バージョンに迅速に対応し、お客様の装置は最新スタンダードに適合したものとなります。
Function3
【SMART-GEM】による自動処理
【SMART-GEM】では、GEM基本性能、追加性能を総合して、通信メッセージの90％を自動的に処理します。そのため、お客様は、残りの装置依存する処理を追加するだけで、装置へのGEM機能の実装を実現できます。
装置依存処理装置プロセス状態、リモートコントロール、プロセスプログラム管理
Function4
高い信頼性
【SMART-GEM】は、半導体製造装置メーカから高い評価を受け採用実績があります。
装置ベンダからの厳しい採用評価にパスし、半導体製造装置に求められる安定性と信頼性にはお客様から高い評価を頂いております。
Function5
組込向けリアルタイムOSへの対応
【SMART-GEM】の適合プラットホームOSは、業界で知名度及び信頼性が高いWindRiver社製VxWorksです。
また、今後お客様の開発環境に柔軟にお応えするために、その他の組み込み系リアルタイムOSへのOSプラットホームへの展開も検討しております。
Function6
適合SEMIスタンダード
現在適合しているSEMIスタンダードとしては標準として
E4-0699(SECS-I)
E5-1104(SECS-II)
E37-1103/E37.1-0702（HSMS/HSMS-SS）
E30-0307(GEM)に対応。
拡張機能として、
E39-0703/E39.1-0703（OSS）
E40-1106/E40.1-1106（PJM）
E87-0706/E87.1-0706（CMS）
E90-0706/E90.1-0706(STS)
E94-1107/E94.1-1107(CJM)
E116-0706/E116.1-0706（EPT）に対応。
Function7
広がる将来性
| 対応項目 | 対応時期 |
|---|---|
| 1）他OS | 別途、御問合わせ下さい。 |
| 2）SEMI規格 | 2006年度版対応済み(OSによる) 随時バージョンアップ実施。 年間サポート契約時は、随時アップデートモジュールを提供します。 |